1967年6月	日本電子金属株式会社と大阪チタニウム製造株式会社が共同出資で高純度シリコン株式会社を設立
1968年4月	三重県四日市市で多結晶シリコン及び液製品の製造を開始
1979年1月	日本電子金属株式会社がシリコン製造部門を日本シリコン株式会社（のちに三菱マテリアルシリコン株式会社を経て現・株式会社ＳＵＭＣＯ）に営業譲渡
1985年3月	日本シリコン株式会社の持分が親会社三菱金属株式会社の直接保有となる
1987年10月	大阪チタニウム製造株式会社が撤退、三菱金属株式会社の100％子会社となる
1990年12月	三菱金属株式会社が三菱鉱業セメント株式会社と合併し、三菱マテリアル株式会社が発足
1996年7月	米国三菱ポリシリコン株式会社（現・高純度シリコンアメリカ株式会社）を設立
1997年1月	三重県鈴鹿市に最終出荷工程である鈴鹿仕上工場を建設
1997年6月	高純度シリコン株式会社より三菱マテリアルポリシリコン株式会社へ社名変更
2007年4月	三菱マテリアル株式会社による吸収合併により三菱マテリアル株式会社四日市工場が発足
2010年11月	三重県四日市市の現工場隣接地に第二プラントを建設
2023年4月	三菱マテリアル株式会社による事業譲渡により、株式会社ＳＵＭＣＯのグループ会社である「高純度シリコン株式会社」としてスタート