高純度多結晶シリコン
概要
半導体デバイスの基板材料となるシリコンウェーハの主原料
当社の高純度多結晶シリコンは、世界最高レベルの99.999999999%(11N)の優れた品質を有する、半導体デバイスの材料となるシリコンウェーハの主原料です。
クローズドシステムによる製造プロセスに加え、長年培った技術と厳密な品質管理のもと、半導体のベース素材としての高品質な製品の安定供給を実現しています。
多結晶シリコンは日常生活で目にすることはありませんが、今後も高品質化が進む半導体用シリコンウェーハの主原料として、最先端の半導体産業を支えます。
製品
チャンク Chunk(Si)
カットロッド Cut Rod(Si)
用途
半導体用シリコンウェーハ
高純度クロロシラン
概要
半導体や通信インフラに欠かせない素材
当社のクロロシランは、高純度多結晶シリコン(99.999999999%)の製造プロセスから生産される高純度のクロロシランです。
トリクロロシランは高純度多結晶シリコンの原料として生産され、半導体級の品質を有しています。四塩化ケイ素、ジクロロシランは多結晶シリコンを製造する炉で生成したガスを凝縮・分離し、蒸留精製により高品質化しています。万全な品質管理のもとでお客様のニーズにお応えします。
当社のクロロシランは、高純度多結晶シリコン(99.999999999%)の製造プロセスから生産される高純度のクロロシランです。
トリクロロシランは高純度多結晶シリコンの原料として生産され、半導体級の品質を有しています。四塩化ケイ素、ジクロロシランは多結晶シリコンを製造する炉で生成したガスを凝縮・分離し、蒸留精製により高品質化しています。万全な品質管理のもとでお客様のニーズにお応えします。
製品
四塩化ケイ素(SiCl4、STC)
トリクロロシラン(SiHCl3、TCS)
ジクロロシラン(SiH2Cl2、DCS)
トリクロロシラン(SiHCl3、TCS)
ジクロロシラン(SiH2Cl2、DCS)
主な荷姿
- 小型容器
- 大型容器
用途
- 半導体用エピタキシャルウェーハ
- フュームドシリカ
- 光ファイバー
- 高純度合成石英